机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2003 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 电子束直写邻近效应校正技术 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2003, 卷号: 24, 期号: B05, 页码: 5，221-225 作者:  陆晶;  陈宝钦;  任黎明;  刘明;  王云翔   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/05/25 纳米结构图形  电子柬直写  蒙特卡罗模拟  邻近效应校正