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	铝合金反射镜面形精度与表面质量提升关键技术研究学位论文 OAI收割中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者: 李兴昶 \| 收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2019/09/23 单点金刚石车削铝合金反射镜电容位移传感器原位检测补偿切削非牛顿流体磨盘机械化学抛光平滑效应中高频误差抑制
	电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定期刊论文 OAI收割光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552 作者: 葛川; 张德福; 李朋志; 郭抗; 李佩玥收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2016/07/06 电容传感器位移传感器标定线性度不确定度光刻投影物镜
	调幅式电容位移传感器开关检波电路设计期刊论文 OAI收割传感器与微系统, 2015, 期号: 05, 页码: 85-87+91 作者: 冯佳; 李佩玥; 徐立松; 尹志生; 隋永新收藏 \| 浏览/下载：27/0 \| 提交时间：2016/07/06 电容位移传感器调幅交流激励检波电路
	基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制期刊论文 OAI收割应用科技, 2014, 期号: 6 陈琦收藏 \| 浏览/下载：29/0 \| 提交时间：2015/04/17 纳米定位压电陶瓷气浮导轨电容微位移传感器
	数字式电容微位移传感器的研究与应用学位论文 OAI收割博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009 作者: 师树恒收藏 \| 浏览/下载：322/0 \| 提交时间：2016/11/28 数字式电容微位移传感器有限元光栅拼接 AD7746 PIC18F单片机屏蔽抗干扰
	高精度电容式位移传感器关键技术的研究期刊论文 OAI收割仪表技术与传感器, 2007, 期号: 7, 页码: 1, 2 师树恒; 王斌; 朱健强收藏 \| 浏览/下载：1472/278 \| 提交时间：2009/09/18 电容位移传感器激励电路
	ICF中可调法布里-珀罗滤波器间距稳定度研究期刊论文 OAI收割强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 777, 780 师树恒; 王斌; 王勇; 朱健强收藏 \| 浏览/下载：1774/236 \| 提交时间：2009/09/18 法布里-珀罗滤波器 Amplitude modulation 位移监控系统 Data processing 电容式位移传感器 Fabry-Perot interferometers 间距稳定度 Frequency modulation 幅度调制效应 Stability
	应用在拼接镜面中的电容位移传感器的结构性误差分析及校正期刊论文 OAI收割光学精密工程, 2006, 卷号: 14, 期号: 2, 页码: 155-158 作者: 杨德华; 戚永军收藏 \| 浏览/下载：22/0 \| 提交时间：2013/12/25 拼接镜面电容位移传感器误差分析误差校正数字拟合
	用于拼接镜面共焦测量的三种位移传感器期刊论文 OAI收割传感技术学报, 2003, 卷号: 1, 期号: 1, 页码: 9-12 作者: 张振超; 徐欣圻; 王海涛; 罗秋凤收藏 \| 浏览/下载：23/0 \| 提交时间：2013/12/22 电容电感光纤位移传感器拼接镜面大型光学望远镜