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MEMS电磁执行器CoNiMnP永磁体阵列的制备 会议论文  OAI收割
中国微米/纳米第六届学术年会, 2003
张博军; 赵湛; 陈绍凤
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2010/09/04
新型高性能大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描执行器 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2008
穆参军
收藏  |  浏览/下载:76/0  |  提交时间:2012/03/06
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