机构

• 电子学研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 会议论文 [1]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2010 [1]
• 2008 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 MEMS电磁执行器CoNiMnP永磁体阵列的制备 会议论文  OAI收割 中国微米/纳米第六届学术年会, 2003 张博军; 赵湛; 陈绍凤 收藏  |   新型高性能大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描执行器 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 穆参军 收藏  |