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金属研究所 [1]
上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
会议论文 [1]
学位论文 [1]
发表日期
2010 [1]
1997 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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氧、氩分压对直流反应溅射制备ZAO薄膜的性能影响
会议论文
OAI收割
第九届全国光电技术学术交流会, 北京, 2010-05
陆峰
;
徐成海
;
闻立时
;
吴玉厚
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2013/08/21
ZAO薄膜
直流反应溅射
氧分压
氩分压
可录CD无机存储材料-AgOx的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 1997
黄秀光
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/06
直流磁控反应溅射
AgOx薄膜
结构
成份
光学性能
分解特性
静态写入性能