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金属研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2006 [1]
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外加电磁直流磁控溅射法低温沉积ZnO:Al薄膜的研究
会议论文
OAI收割
2006北京国际材料周暨中国材料研讨会, 北京, 2006-09
张小波
;
裴志亮
;
肖金泉
;
宫骏
;
孙超
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提交时间:2013/08/21
透明导电薄膜
直流磁控溅射法
电磁线圈
低温沉积
电阻率