机构

• 上海技术物理研究所 [9]
• 上海微系统与信息技术... [2]
• 西安光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [12]

内容类型

• 学位论文 [8]
• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2013 [2]
• 2011 [1]
• 2009 [4]
• 2008 [2]
• 2007 [2]
• 2006 [1]
• 更多

学科主题

• 红外探测材料与器件 [6]
• 信号与信息处理 [1]
• 红外系统与元部件 [1]

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浏览/检索结果: 共12条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 短波IRFPAs读出电路CTIA输入级的优化设计 期刊论文  OAI收割 激光与红外, 2013, 卷号: 43, 期号: 12 王攀; 丁瑞军; 叶振华 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2014/11/11 短波红外焦平面  运放积分(CTIA)读出电路  弱信号耦合读出   基于LabView的短波红外焦平面相对响应光谱测试系统 期刊论文  OAI收割 光学与光电技术, 2013, 卷号: 11, 期号: 6 陈郁; 贺香荣; 邵秀梅; 方家熊 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2014/11/05 短波红外焦平面  相对响应光谱  光栅单色仪  光谱校准  虚拟仪器   中波/长波红外焦平面读出电路研究 学位论文  OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2011 作者:  陆伟   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/09/11 双色红外焦平面  短波/中波双色读出电路  中波/长波双色读出电路  共享型缓冲直接注入结构（sbdi）  注入效率   高In组分InGaAs短波红外线列探测器技术研究 学位论文  OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2009 作者:  张可锋   |  收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2012/08/22 Ingaas  短波红外探测器  空间遥感  焦平面  测试结构   短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2009 作者:  宁锦华   |  收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/08/22 由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。   短波红外成像光谱仪电子学关键技术研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2009 任斌 收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2011/10/09 短波红外焦平面器件  FPGA  LVDS  非均匀性校正   几种微构件材料的表面能及纳观黏附行为研究 期刊论文  OAI收割 物理学报, 2009, 期号: 04 薛伟; 郑蓓蓉; 张淼; 解国新; 王权 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/01/06 短波近红外  InGaAs  焦平面组件  读出电路   台面型InGaAs短波红外线列探测器技术研究 学位论文  OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2008 作者:  唐恒敬   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/08/22 Ingaas  空间遥感  短波红外探测器  焦平面  钝化  欧姆接触   InP基短波红外InGaAs探测器及其物理研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 田招兵 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/03/06 InGaAs  　短波红外  　光电探测器  　焦平面  　空间遥感   应用InGaAs探测器的短波红外系统研究 学位论文  OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2007 作者:  徐蒙   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/08/14 短波红外  焦平面  推帚式扫描  成像