机构

• 微电子研究所 [1]
• 高能物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2004 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 X射线光刻技术应用现状与前景 期刊论文  OAI收割 核技术, 2004, 卷号: 27, 期号: 12, 页码: 904-908 作者:  叶甜春;  谢常青;  陈大鹏;  刘明;  伊福廷   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/05/26 接近式x射线光刻  纳米电子学  单片微波集成电路  硅基超大规模集成电路   X射线光刻技术应用现状与前景 期刊论文  OAI收割 核技术, 2004, 期号: 12, 页码: 904-908 作者:  谢常青;  陈大鹏;  刘明;  叶甜春;  伊福廷 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/12/25 接近式X射线光刻  纳米电子学  单片微波集成电路  硅基超大规模集成电路