机构

• 长春光学精密机械与物... [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 1999 [1]
• 1998 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一步湿法化学刻蚀硅微尖冷阴极 期刊论文  OAI收割 发光学报, 1999, 期号: 01, 页码: 83-87 作者:  赵海峰;  梁静秋 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2013/03/11 真空微电子  硅微尖  冷阴极   干法刻蚀和湿法刻蚀制备硅微尖的比较 期刊论文  OAI收割 发光学报, 1998, 期号: 03, 页码: 80-82 作者:  赵海峰;  梁静秋 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2013/03/11 硅微尖  冷阴极  干法刻蚀  湿法刻蚀