机构

• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 会议论文 [1]

发表日期

• 2005 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 硅的电化学深刻蚀技术 会议论文  OAI收割 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会, 2005 王连卫; 吴俊徐; 陈瑜 收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2012/01/18 硅衬底 电化学深刻蚀 传感器 深反应离子刻蚀 阳极氧化 微纳米通道