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机构
上海微系统与信息技术... [1]
高能物理研究所 [1]
半导体研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
学位论文 [3]
发表日期
2016 [1]
2013 [1]
2006 [1]
学科主题
凝聚态物理LW090... [1]
半导体器件 [1]
微电子学 [1]
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共3条,第1-3条
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AFM扫描探针的研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2016
何欢
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2016/06/03
扫描探针显微镜
AFM探针
MEMS
微悬臂梁
硅针尖
硕士论文-纳米针尖的制备及其场发射性能的研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013
作者:
玛丽娜·阿西木汗
收藏
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浏览/下载:83/0
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提交时间:2015/10/12
硅纳米针尖
氯化铯自组装技术
干刻蚀
光刻技术
碳纳米管在硅基衬底上的化学气相沉积生长研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
李聃
收藏
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浏览/下载:48/0
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提交时间:2012/03/06
碳纳米管
化学气相沉积
多孔硅
压力传感器
AFM针尖