机构

• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 单层二氧化铪(HfO_2)薄膜的特性研究 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2012, 卷号: 39, 期号: 2, 页码: 134-140 作者:  艾万君;  熊胜明 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2016/11/21 电子束蒸发  离子束辅助沉积  离子束反应溅射  HfO2薄膜  薄膜特性