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用于高集成光谱技术的多层楔形薄膜滤光片研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
唐昊龙
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浏览/下载:111/0
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提交时间:2020/08/24
光学薄膜
高集成光谱探测
楔形薄膜
膜系设计
离子束溅射
离子束溅射制备Ta2O5/SiO2薄膜的应力特性研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
作者:
余琪
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2017/06/14
薄膜应力,离子束溅射技术,光学薄膜,有限元分析
离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655
作者:
才玺坤
;
梅林
;
武潇野
;
贺健康
;
时光
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2017/09/17
离子束溅射
应力
光学特性
膜厚均匀性
离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 356-363
作者:
张立超
;
贺健康
;
梅林
;
武潇野
;
时光
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2017/09/17
离子束溅射
光学薄膜
沉积速率
二维拟合
膜厚均匀性
离子束溅射沉积制备六方氮化硼二维原子晶体
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
王浩林
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2016/07/07
六方氮化硼
二维原子晶体
离子束溅射沉积
衬底
大尺寸晶畴
1064nm固体激光薄膜损伤阈值的研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:
张蕾
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浏览/下载:41/0
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提交时间:2017/01/06
损伤阈值,离子束溅射,保护层,缓冲层
离子束抛光高陡度离轴非球面的去除函数修正
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2015, 期号: 06, 页码: 1572-1579
作者:
唐瓦
;
邓伟杰
;
李锐钢
;
郑立功
;
张学军
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2016/07/06
光学制造
离轴非球面
离子束抛光
溅射效应
去除函数
高色散系数线性渐变滤光片的研制
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2015, 期号: 05, 页码: 1221-1226
作者:
张建
;
高劲松
;
李玉东
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2016/07/06
线性渐变滤光片
双离子束溅射
色散
透过率
膜厚修正
耐高温窗口增透技术研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:
尚鹏
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浏览/下载:73/0
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提交时间:2015/07/29
减反射薄膜
耐高温
亚波长减反射结构
离子束溅射
光谱特性
离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:
李定
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2015/07/29
薄膜
离子束溅射
中红外
水吸收
光学常数