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长春光学精密机械与物... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2015 [1]
1998 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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超薄光学元件精密加工关键技术
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2015, 期号: 06, 页码: 964-970
作者:
彭利荣
;
马占龙
;
王高文
;
王飞
;
王东方
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提交时间:2016/07/06
超薄镜
精密铣磨
精密抛光
离子束精修
误差补偿
离子刻蚀技术现状与未来发展
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 1998, 期号: 02, 页码: 8-15
任延同
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提交时间:2013/03/11
离子刻蚀技术
等子体刻蚀
反应离子刻蚀
离子束铣
聚焦离子刻蚀