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多阳极束形可变的冷阴极离子源的放电特性的研究 期刊论文  OAI收割
真空科学与技术;, 1999, 期号: A10, 页码: 122-125
作者:  
饶雨生;  徐韬光
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2015/12/14