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• 光电技术研究所 [4]

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• OAI收割 [4]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2019 [1]
• 2015 [1]
• 2009 [1]
• 2007 [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 高衍射效率连续面形分束器的设计与制备 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 7, 页码: 9-16 作者:     |  收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2021/05/06 [825352]衍射  二元光学  Gerchberg-Saxton算法  移动掩模技术  [825497]衍射光学元件  分束器   基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计 期刊论文  OAI收割 制造技术与机床, 2015, 期号: 8, 页码: 47-50 作者:  佟军民;  胡松 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2016/11/23 掩模移动曝光技术  接近式光刻机  对准系统  对准精度   任意排布、不规则连续面形微光学元件的成形方法研究 学位论文  OAI收割 博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009 董小春 收藏  |  浏览/下载：83/0  |  提交时间：2013/11/19 微光学  不规则面形  微光刻技术  曝光阈值  掩模移动滤波   掩模移动曝光系统精密定位工件台技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2007 佟军民 收藏  |  浏览/下载：71/0  |  提交时间：2013/11/19 掩模移动曝光技术  精密定位工件台  移动直线性  移动正交性