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多相流测量技术 [1]
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基于SWAT模型的妫水河流域径流空间分布特征
CNKI期刊论文
OAI收割
2021
作者:
安晨
;
方海燕
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提交时间:2022/10/11
SWAT
妫水河
径流量
空间分布
基于PostGIS的线要素空间聚合方法
期刊论文
OAI收割
计算机工程, 2020, 页码: 11
作者:
梅新
;
王文荟
;
钟少波
;
宋敦江
;
梅白帆
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2021/01/16
线要素
空间流量
空间聚合
效率
PostGIS
基于PostGIS的线要素空间聚合方法
期刊论文
OAI收割
计算机工程, 2020, 卷号: 47, 期号: 05, 页码: 308-315
作者:
梅新
;
王文荟
;
钟少波
;
宋敦江
;
梅白帆
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2022/01/26
线要素
空间流量
空间聚合
聚合效率
PostGIS平台
静电-电容传感器灵敏度特性研究
会议论文
OAI收割
2015年中国工程热物理学会多相流学术年会, 南京, 2015
作者:
王胜南
;
许传龙
;
李健
;
王式民
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2016/01/13
静电-电容传感器
局部流量
空间灵敏度
有限元法
气固两相流
微重力燃烧实验中气体流量控制器的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院, 2012
李明
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提交时间:2014/07/03
空间燃烧实验
流量控制器
MEMS
微重力环境中的气体质量流量控制器研究
期刊论文
OAI收割
空间科学学报, 2012, 卷号: 32, 期号: 6, 页码: 841-844
作者:
李明
;
于强
;
翟光杰
;
孙志斌
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浏览/下载:54/0
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提交时间:2014/05/23
空间燃烧实验
质量流量控制计
基于交通视角的新疆城市等级体系演变研究/ANALYSIS OF EVOLVEMENT OF HIERARCHICAL SYSTEM OF CITIES IN XINJIANG BASED ON TRANSPORTATION DEVELOPMENT VISION[J]
期刊论文
OAI收割
经济地理, 2011, 卷号: 31, 期号: 4, 页码: 591-598
作者:
杨宇
;
董雯
;
刘毅
;
张小雷
;
雷军
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2017/12/29
交通运输水平 复合流量 城市等级体系 空间结构 新疆
基于交通视角的新疆城市等级体系演变研究
CNKI期刊论文
OAI收割
2011
作者:
杨宇
;
董雯
;
刘毅
;
张小雷
;
雷军
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/05/19
交通运输水平
复合流量
城市等级体系
空间结构
新疆
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
基于景观尺度过程模型的长白山地表径流量时空变化特征的模拟
中文期刊论文
OAI收割
2003
作者:
于贵瑞
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提交时间:2012/05/16
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