中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页 机构 成果 学者
  
  1. CAS IR Grid
机构
采集方式
内容类型
发表日期
学科主题
筛选

浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助

条数/页： 排序方式：
基于激光诱导空气等离子体的太赫兹波产生与偏振调控研究 学位论文  OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2023
作者:  王汉奇
  |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2024/02/07
飞秒三色谐波脉冲增强空气等离子体中太赫兹波的产生 期刊论文  OAI收割
红外与毫米波学报, 2023, 卷号: 42, 期号: 6, 页码: 779-787
作者:  王汉奇;  范文慧;  陈徐;  闫慧
  |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2023/12/28
等离子体鞘套中X射线通信传输理论与实验研究 期刊论文  OAI收割
光子学报, 2021, 卷号: 50, 期号: 11
作者:  苏桐;  盛立志;  刘永安;  张雪晗;  刘一凡
  |  收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2022/01/13
激光等离子体辐射太赫兹波的理论与实验研究 学位论文  OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2016
作者:  谢军
收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2016/05/31
激光诱导击穿光谱技术及应用研究进展 期刊论文  OAI收割
中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 490-500
作者:  佟存柱;  王平
收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2014/03/07
相对论重离子碰撞(RHIC) 实验中非光电子与带电强子的方位角关联及双强子方位角关联模拟的研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院研究生院, 2011
李薇
收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2012/08/15
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
等离子体射流产生与特性的实验研究 期刊论文  OAI收割
工程热物理学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 499-501
作者:  潘文霞;  孟显;  陈熙;  吴承康
收藏  |  浏览/下载：1433/77  |  提交时间：2007/06/15
化学非平衡夸克-胶子等离子体中的双轻子产生 期刊论文  OAI收割
高能物理与核物理, 2004, 期号: 04
龙家丽,贺泽君,蒋维洲,马余刚,刘波
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/07/04
Atomic-Oxygen Beam Source with Compact ECR Plasma 期刊论文  OAI收割
等离子体科学和技术：英文版, 2002, 卷号: 004
作者:  Ren Zhaoxing;  Shen Keming;  Lu Qingao
  |  收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2020/10/26