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飞秒三色谐波脉冲增强空气等离子体中太赫兹波的产生 期刊论文 OAI收割
红外与毫米波学报, 2023, 卷号: 42, 期号: 6, 页码: 779-787
作者: 王汉奇; 范文慧; 陈徐; 闫慧

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三色谐波脉冲空气等离子体波长组合方案增强太赫兹波产生

太赫兹波时域光谱技术研究 学位论文 OAI收割
北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者: 陈泽优

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太赫兹波太赫兹波时域光谱技术等离子体飞秒光纤激光器激光波长

激光波长对双色激光激光波长对双色激光等离子体产生太赫兹波的影响 期刊论文 OAI收割
光子学报, 2017, 卷号: 46, 期号: 12, 页码: 1214003
作者: 陈泽优; 范文慧; 陈徐; 丁玲; 宋超

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太赫兹波等离子体光电流模型激光波长自由电子漂移电流

多功能镓掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备及其特性调控研究 期刊论文 OAI收割
中国科学院大学(中国科学院宁波材料技术与工程研究所), 2017, 页码: 118
作者: 朱超挺

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Gzo透明导电薄膜高载流子浓度柔性衬底高雾度等离子体波长

一种新型的表面增强喇曼方法研究 学位论文 OAI收割
硕士: 中国科学院大学, 2013
宋超

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纳米粒子喇曼散射表面等离子体共振亚波长光栅

一种金属亚波长缝槽结构的高方向性辐射研究 期刊论文 OAI收割
光电工程, 2013, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 21-26
作者: 彭若冰; 李雄; 赵泽宇; 罗先刚

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亚波长器件表面等离子体高方向性辐射

亚波长周期金属结构中光传输特性的研究 学位论文 OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010
作者: 汪丽春

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表面等离子体激元亚波长金属光栅时域有限差分严格耦合波分析

短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文 OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者: 宁锦华

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收藏 | 浏览/下载：30/0 | 提交时间：2012/08/22

由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作探测率高等优点 Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器通过最终性能的比较评价得出较好的台面成型方式为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉铟基材料的刻蚀需要对样品加热在此温度下光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说采用pecvd生长sinx 选择边缘平整的光刻板用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器平均刻蚀速率过快同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离提高刻蚀速率相比较ar气 N2的物理轰击力小对材料造成的损伤小同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx 在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型能得到刻蚀速率稳定可控刻蚀后的表面光洁无残留物图形保真度好。在不同的直流偏压 Icp功率气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型并从刻蚀速率刻蚀垂直度刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下 Icp具有图形保真度好刻蚀速率稳定可控的优点因而更适用于ingaas探测器的工程制作特别在小光敏元探测器的制备中 Icp的优势将更明显。

原子光谱线位移机理的研究 期刊论文 OAI收割
光谱学与光谱分析, 2003, 期号: 03, 页码: 446-450
作者: 刘克玲

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原子光谱光谱线位移电感耦合等离子体光谱仪波长校正

精确测定光谱线峰光强新途径的探索 期刊论文 OAI收割
现代科学仪器, 1998, 期号: 04, 页码: 23-26
刘克玲; 黄图江; 黄亮; 李东刚

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电感耦合等离子体光谱仪波长校正智能波长校正