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	高密度等离子刻蚀机中的等离子体诊断技术期刊论文 OAI收割半导体技术, 2005, 卷号: 30, 期号: 1, 页码: 5，13-17 作者: 刘明; 王巍; 叶甜春; 李兵; 陈大鹏 \| 收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2010/05/26 等离子体诊断技术朗格谬尔探针发射光谱法：激光诱导荧光法光谱椭偏法质谱法
	正入射软X射线显微成像研究期刊论文 OAI收割光电子·激光, 1998, 期号: 02, 页码: 74 作者: 陈星旦收藏 \| 浏览/下载：20/0 \| 提交时间：2013/03/11 软X射线:6135 显微成像:5971 正入射:4144 Ｘ射线天文学:1781 多层膜技术:1357 滤光片:1187 光电子学:976 衍射光学元件:892 等离子体诊断:859 显微成像系统:776
	第7届国际等离子体化学会议(ISPC-7) 期刊论文 OAI收割力学进展, 1986, 卷号: 16, 期号: 3, 页码: 412 朱清文收藏 \| 浏览/下载：1059/87 \| 提交时间：2009/08/03 等离子体化学等离子体喷涂等离子体技术等离子体诊断等离子体刻蚀高频等离子体等离子体发生器热力学性质荧光光谱