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力学研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1988 [1]
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高频等离子体合成Si_3N_4超细粉料
期刊论文
OAI收割
化工学报, 1988, 卷号: 39, 期号: 6, 页码: 766-769
朱清文
;
阎嘉坪
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浏览/下载:1259/260
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提交时间:2009/08/03
超细粉料
参数选择
高频等离子体
Si_3N_4
数值计算
等离子体合成
磁泵
反应过程
等离子体负载