机构

• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 会议论文 [1]

发表日期

• 2005 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 等离子体键合和B+/H+共注实现低温SOI工艺的研究 会议论文  OAI收割 第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 马小波; 詹达; 刘卫丽; 宋志棠; 沈勤我; 林梓鑫 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/01/18 等离子体键合 低温SOI工艺 硼氢离子共注