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用于柔性电子器件的有机无机交替结构薄膜封装的研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所, 2018
作者:  
吴杰
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PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响(英文) 期刊论文  OAI收割
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:  
陈芳;  方铉;  王双鹏;  牛守柱;  方芳
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