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MEMS谐振式微悬臂梁生物传感器的接口电路设计和测试 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2007
包涵菡  
收藏  |  浏览/下载:82/0  |  提交时间:2012/03/06