机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2004 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 用于X射线光刻对准的图像边缘增强技术 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2004, 卷号: 12, 期号: 4, 页码: 426-431 作者:  谢常青;  王德强;  叶甜春   |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/05/26 X射线光刻  对准系统  拉普拉斯算法  索贝尔算法