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机构
上海光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2008 [1]
学科主题
光学薄膜 [1]
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HfO2的纯度对紫外多层膜反射率的影响
期刊论文
OAI收割
Chin. Opt. Lett., 2008, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 222, 224
袁景梅
;
齐红基
;
赵元安
;
范正修
;
邵建达
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提交时间:2009/09/22
光学薄膜
Glow discharge mass spectrum
紫外膜
Ultraviolet multilayer
ZrO2
HfO2
光学性能