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表面等离子体超衍射分辨力光刻技术研究 学位论文  OAI收割
博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
杨勇
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用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构 期刊论文  OAI收割
哈尔滨工业大学学报, 2004, 期号: 03, 页码: 310-312
作者:  
刘伟
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