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长春光学精密机械与物... [1]
光电技术研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2009 [1]
2004 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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表面等离子体超衍射分辨力光刻技术研究
学位论文
OAI收割
博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
杨勇
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提交时间:2013/11/19
表面等离子体
倏逝波
超衍射分辨力
纳米光刻
用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构
期刊论文
OAI收割
哈尔滨工业大学学报, 2004, 期号: 03, 页码: 310-312
作者:
刘伟
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提交时间:2013/03/11
激光直接写入设备
纳米分辨力
调焦伺服机构