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• 2016 [1]
• 2009 [1]
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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071 作者:  陈琦 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2017/09/17 扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位   一种新的锂离子电池组充电分流方法研究 期刊论文  OAI收割 电源技术, 2009, 期号: 01 李祖布; 孙宁; 苏瑞丰; 练敏英 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/01/06 体硅工艺  纳米级定位平台  静电驱动  致动机理  特性分析   基于Taguchi三次设计的微机械陀螺健壮性设计 期刊论文  OAI收割 上海交通大学学报, 2008, 期号: 02 张正福; 王安麟; 刘广军; 姜涛; 焦继伟 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/01/06 体硅工艺  深度反应离子刻蚀  背片技术  面内侧面压阻  纳米级定位平台