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机构
微电子研究所 [1]
半导体研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2015 [1]
2003 [1]
学科主题
半导体器件 [1]
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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硅基III-V族横向纳米线晶体管的工艺研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
洪文婷
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提交时间:2015/06/02
硅基叉指结构图形衬底+III-V族纳米线+选区横向生长+费米能级钉扎效应+界面态密度
电子束直写邻近效应校正技术
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2003, 卷号: 24, 期号: B05, 页码: 5,221-225
作者:
陆晶
;
陈宝钦
;
任黎明
;
刘明
;
王云翔
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提交时间:2010/05/25
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