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• 上海微系统与信息技术... [2]

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• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

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• 2010 [1]
• 2006 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 低温等离子体键合与新型高速衬底材料制备 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 马小波 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/03/06 低温等离子体键合  绝缘体上的硅（SOI）  绝缘体上锗硅（SGOI）  绝 缘体上的锗（GeOI）  应变硅（strained Si）   基于摄动法的微机械陀螺随机性能的统计分析 期刊论文  OAI收割 上海交通大学学报, 2006, 期号: 11 姜涛; 王安麟; 刘广军; 张颖; 焦继伟 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/01/06 微电子机械系统(MEMS)  光学电流传感器(OCS)  绝缘体上的Si(SOI)  扭转微镜  温度补偿