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• 长春光学精密机械与物... [2]

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• 期刊论文 [2]

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• 2016 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 期刊论文  OAI收割 压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 562-565 作者:  李加东;  张轲;  吴东岷;  苗斌   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2017/09/17 力值计量  悬臂梁  弹性系数  微机电系统  绝缘衬底上的硅(Soi)   原子力显微镜探针批量制备工艺分析 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2016, 期号: 2, 页码: 119-123 作者:  李加东;  吴东岷;  张轲;  苗斌   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2017/09/17 原子力显微镜(Afm)  探针  绝缘衬底上的硅(Soi)  自锐式  曲率半径