机构

• 长春光学精密机械与物... [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2008 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 TFT5次光刻背沟道刻蚀型与保护型工艺 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2008, 期号: 12 辛玉洁; 于春崎 收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2012/09/25 薄膜晶体管  5次光刻  背沟道刻蚀型  背沟道保护型  a-Si岛