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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• 会议论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 CMP专用大粒径纳米二氧化硅研磨料的研究 会议论文  OAI收割 第三届上海纳米科技与产业发展研讨会, 2006 张楷亮; 王良咏; 宋志棠; 封松林 收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2012/01/18 胶体二氧化硅 研磨料 抛光效率 水玻璃 离子交换 分水控制 粒径生长 纳米磨料