机构

• 合肥物质科学研究院 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2011 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 能量过滤磁控溅射技术制备ITO薄膜及其特性研究 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术学报, 2011, 卷号: 031 作者:  姚宁;  常立红;  韩昌报;  邢宏伟;  葛亚爽   |  收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2020/11/23 ITO薄膜  光电性能  表面粗糙度  磁控溅射  能量过滤磁控溅射