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机构
上海微系统与信息技术... [1]
上海光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2007 [1]
2000 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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铝酸锂晶体生长及其上宽禁带半导体薄膜制备研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007
作者:
邹军
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2016/11/28
LiAlO2晶体
ZnO薄膜
非极性GaN薄膜
脉冲激光淀积法
MOCVD
高声速衬底压电薄膜的制备及声表面波器件的研制探索
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海冶金研究所 , 2000
刘彦松
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浏览/下载:274/0
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提交时间:2012/03/06
声表面波
脉冲激光淀积
氧化锌
氯化铝
高声速衬底