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不同膜层数的Mo/Si多层膜的表界面粗糙度和软X射线反射率 期刊论文  OAI收割
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 5, 页码: 301, 303
秦俊岭; 邵建达; 易葵; 范正修
收藏  |  浏览/下载:650/128  |  提交时间:2009/09/22