机构

• 合肥物质科学研究院 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2003 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 等离子体离子能量自动分析器的研制和应用 期刊论文  OAI收割 电子学报, 2003, 卷号: 031 作者:  吴先球;  陈俊芳;  蒋珍美;  熊予莹;  吴开华   |  收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2020/10/26 离子能量分布  器件损伤  自动能量分析器  ECR－PECVD