机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2005 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 亚微米双层多晶硅自对准双极晶体管性能研究 期刊论文  OAI收割 电子与封装, 2005, 卷号: 5, 期号: 9, 页码: 5，29-33 作者:  张志勇;  海潮和   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2010/05/26 亚微米工艺  自对准技术  双层多晶硅  双极晶体管  原位掺杂