机构

• 微电子研究所 [3]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2009 [1]
• 2004 [1]
• 2003 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 镍硅化物工艺新进展 期刊论文  OAI收割 微电子学, 2009, 卷号: 39, 期号: 6, 页码: 5，824-828 作者:  尚海平;  徐秋霞   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/06/01 自对准硅化物  一硅化镍  Mosfet  Ir   自对准硅化物工艺研究 期刊论文  OAI收割 微电子学, 2004, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 631-635,639 作者:  万春明;  王大海;  徐秋霞   |  收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2010/05/26 超深亚微米  Cmos器件  自对准硅化物  纳米器件  Ni自对准硅化物   高性能42nm栅长CMOS器件 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2003, 卷号: 24, 期号: B05, 页码: 8，153-160 作者:  陈宝钦;  蒋浩杰;  吴德馨;  赵玉印;  徐秋霞   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/05/25 42nm栅长  Cmos器件  超陡倒掺杂  灰化工艺  高选择比  高各向异性  Co／ti自对准硅化物