机构

• 微电子研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]
• 工程热物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 会议论文 [1]
• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]
• 2006 [1]
• 2005 [1]

学科主题

• 多相流测量技术 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 蒸汽参数突变对微波谐振腔测量蒸汽湿度的影响分析 会议论文  OAI收割 中国工程热物理学会, 2012 钱江波; 韩中合; 张美凤; 李恒凡 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2013/03/20 微波谐振腔  温度自补偿  温度滞后  固流耦合  谐振频率  湿度测量   MEMS电容式加速度传感器检测电路减噪与微机械谐振器静电自激驱动研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 王俊杰   收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS加速度传感器  噪声  分辨率  谐振器  静电自激驱动  谐振频率     一种用以改善硅衬底螺旋电感性能的局域介质增厚新技术 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 5，857-861 作者:  杨荣;  李俊峰;  赵玉印;  柴淑敏;  韩郑生   |  收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2010/05/26 硅  电感  结构  工艺  品质因数  自谐振频率