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机构
力学研究所 [2]
上海技术物理研究所 [1]
上海光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [2]
发表日期
2009 [2]
2008 [1]
1994 [1]
学科主题
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共4条,第1-4条
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光学薄膜应力演化与面形控制
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
-
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2016/11/06
光学薄膜
面形
应力实时测量
应力演化
薄膜厚度分布
牺牲层
光学薄膜应力演化与面形控制
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
方明
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浏览/下载:129/0
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提交时间:2016/11/28
光学薄膜
面形
应力实时测量
应力演化
薄膜厚度分布
牺牲层
电子束物理气相沉积钇钛合金薄膜的组分和厚度分布
期刊论文
OAI收割
中国科学. E辑, 技术科学, 2008, 卷号: 38, 期号: 7, 页码: 1105-1117
作者:
李帅辉
;
舒勇华
;
樊菁
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浏览/下载:1775/88
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提交时间:2010/05/03
电子束物理气相沉积
薄膜
厚度和组分分布
蒸气原子
非平衡输运
粘塑性流体在旋转圆盘上的流动
期刊论文
OAI收割
应用数学和力学, 1994, 期号: 05, 页码: 421-427
作者:
范椿
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2018/05/10
旋转圆盘上的流动
粘塑性流体
薄膜厚度分布