机构

• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 学位论文 [1]

发表日期

• 2017 [1]

学科主题

• 光学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 离子束溅射制备Ta2O5/SiO2薄膜的应力特性研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 作者:  余琪 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2017/06/14 薄膜应力，离子束溅射技术，光学薄膜，有限元分析