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机构
微电子研究所 [1]
上海光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2006 [2]
学科主题
光学薄膜 [1]
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浏览/检索结果:
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MEMS中的簿膜制造技术
期刊论文
OAI收割
电子工业专用设备, 2006, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 39-42
作者:
董立军
;
陈大鹏
;
欧毅
;
黄钦文
;
石莎莉
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提交时间:2010/05/26
微机电系统
薄膜淀积
Pvd
Cvd
电镀
物理淀积
平面行星夹具的物理气相沉积均匀性计算
期刊论文
OAI收割
计算物理, 2006, 卷号: 23, 期号: 6, 页码: 738, 742
方明
;
范正修
;
黄建兵
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提交时间:2009/09/22
薄膜淀积
均匀性
平面行星夹具
计算机模拟