机构

• 微电子研究所 [1]
• 上海光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2006 [2]

学科主题

• 光学薄膜 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 MEMS中的簿膜制造技术 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2006, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 39-42 作者:  董立军;  陈大鹏;  欧毅;  黄钦文;  石莎莉   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/05/26 微机电系统  薄膜淀积  Pvd  Cvd  电镀  物理淀积   平面行星夹具的物理气相沉积均匀性计算 期刊论文  OAI收割 计算物理, 2006, 卷号: 23, 期号: 6, 页码: 738, 742 方明; 范正修; 黄建兵 收藏  |  浏览/下载：744/103  |  提交时间：2009/09/22 薄膜淀积  均匀性  平面行星夹具  计算机模拟