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MEMS中的簿膜制造技术 期刊论文  OAI收割
电子工业专用设备, 2006, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 39-42
作者:  
董立军;  陈大鹏;  欧毅;  黄钦文;  石莎莉
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平面行星夹具的物理气相沉积均匀性计算 期刊论文  OAI收割
计算物理, 2006, 卷号: 23, 期号: 6, 页码: 738, 742
方明; 范正修; 黄建兵
收藏  |  浏览/下载:744/103  |  提交时间:2009/09/22