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聚磷酸酯蚀刻产物在NaOH溶液中的浓度对体蚀刻速度及相对灵敏度的影响 期刊论文  OAI收割
核技术, 1988, 期号: 9, 页码: 8--9
作者:  
吴日升;  崔浣华
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2015/12/25