机构

• 上海微系统与信息技术... [1]
• 高能物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]
• 1994 [1]

学科主题

• 无机化学 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 硕士论文-核分析新技术：Alpha反冲径迹热年代学研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2006 作者:  高绍凯 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2015/10/12 alpha反冲径迹  蚀刻  退火  垂直蚀刻速率  金云母   SF_6／CCl_2F_2反应离子深刻蚀硅中加O_2的研究 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1994, 期号: 04 姜建东; 孙承龙; 王渭源; 王德宁 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 反应离子刻蚀  各向异性深刻蚀硅  聚合物掩蔽膜  蚀刻速率  蚀刻形貌