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OAI收割 [27]
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学科主题
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基于III-V半导体纳米线光电探测器件的研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者:
张凯
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2018/06/04
Iii-v族半导体
纳米线
光电探测器
表面钝化
柔性器件
GaN和GaSb基稀磁半导体、肖特基结的制备及其性质研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
陶东言
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提交时间:2015/05/29
稀磁半导体
GaN
GaSb
表面钝化
肖特基器件
InAs/GaSb超晶格中波红外二极管的阳极硫化
期刊论文
OAI收割
光子学报(Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica), 2014, 卷号: 43, 期号: 1, 页码: 64-67
作者:
郭杰
;
郝瑞亭
;
段剑金
;
许林
;
李银柱
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浏览/下载:54/0
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提交时间:2016/04/06
红外探测器
钝化
电流电压特性
InAs/GaSb
超晶格
表面漏电
阳极硫化
表面钝化对316L医用不锈钢血液相容性的影响
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
史永娟
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浏览/下载:185/0
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提交时间:2013/04/12
316L不锈钢
表面钝化
电化学腐蚀
血液相容性
蛋白吸附
表面性能
316L stainless steel
surface passivation
electrochemical corrosion
blood compatibility
protein adsorption
surface property
钝化处理对316L不锈钢血液相容性的影响
期刊论文
OAI收割
金属学报, 2011, 期号: 12, 页码: 1575-1580
史永娟
;
任伊宾
;
张炳春
;
杨柯
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/04/12
316L不锈钢
钝化
血小板黏附
蛋白吸附
表面张力
表面电荷
载波钝化对AZ91D镁合金耐蚀性能的影响 Ⅱ-载波钝化对AZ91D镁合金表面特性的影响
期刊论文
OAI收割
中国腐蚀与防护学报, 2010, 期号: 3, 页码: 187-191
刘晓兰
;
徐雅欣
;
张涛
;
邵亚薇
;
孟国哲
;
王福会
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提交时间:2012/04/12
AZ91D镁合金
载波钝化
表面特性
原子力显微镜
X射线光电子谱仪
铂族及过渡金属对Ti合金钝化影响机理研究
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2010, 期号: 3, 页码: 2022-2026
张国英
;
杨丽娜
;
张辉
;
吴建军
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/04/12
电子结构
表面偏聚
电催化
钝化机理
载波钝化对AZ91D镁合金耐蚀性能的影响 II-载波钝化对AZ91D镁合金表面特性的影响
期刊论文
OAI收割
中国腐蚀与防护学报, 2010, 卷号: 30, 期号: 3, 页码: 187-191
作者:
刘晓兰
;
徐雅欣
;
张涛
;
邵亚薇
;
孟国哲
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2024/01/08
AZ91D magnesium alloy
alternating voltage modulated passivation
surface properties
AFM
XPS
AZ91D镁合金
载波钝化
表面特性
原子力显微镜
X射线光电子谱仪
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
钼酸钠在富含氯离子混凝土模拟液中对钢筋腐蚀行为的影响
会议论文
OAI收割
第五届全国腐蚀大会, 2009
周欣
;
杨怀玉
;
王福会等
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提交时间:2014/01/09
钢筋腐蚀
表面钝化
钼酸钠浓度
腐蚀速率