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浏览/检索结果: 共27条,第1-10条 帮助

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基于III-V半导体纳米线光电探测器件的研究 学位论文  OAI收割
北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者:  
张凯
  |  收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2018/06/04
GaN和GaSb基稀磁半导体、肖特基结的制备及其性质研究 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
陶东言
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2015/05/29
InAs/GaSb超晶格中波红外二极管的阳极硫化 期刊论文  OAI收割
光子学报(Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica), 2014, 卷号: 43, 期号: 1, 页码: 64-67
作者:  
郭杰;  郝瑞亭;  段剑金;  许林;  李银柱
收藏  |  浏览/下载:54/0  |  提交时间:2016/04/06
表面钝化对316L医用不锈钢血液相容性的影响 学位论文  OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
史永娟
收藏  |  浏览/下载:185/0  |  提交时间:2013/04/12
钝化处理对316L不锈钢血液相容性的影响 期刊论文  OAI收割
金属学报, 2011, 期号: 12, 页码: 1575-1580
史永娟; 任伊宾; 张炳春; 杨柯
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2012/04/12
载波钝化对AZ91D镁合金耐蚀性能的影响 Ⅱ-载波钝化对AZ91D镁合金表面特性的影响 期刊论文  OAI收割
中国腐蚀与防护学报, 2010, 期号: 3, 页码: 187-191
刘晓兰; 徐雅欣; 张涛; 邵亚薇; 孟国哲; 王福会
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2012/04/12
铂族及过渡金属对Ti合金钝化影响机理研究 期刊论文  OAI收割
物理学报, 2010, 期号: 3, 页码: 2022-2026
张国英; 杨丽娜; 张辉; 吴建军
收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2012/04/12
载波钝化对AZ91D镁合金耐蚀性能的影响 II-载波钝化对AZ91D镁合金表面特性的影响 期刊论文  OAI收割
中国腐蚀与防护学报, 2010, 卷号: 30, 期号: 3, 页码: 187-191
作者:  
刘晓兰;  徐雅欣;  张涛;  邵亚薇;  孟国哲
  |  收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2024/01/08
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
钼酸钠在富含氯离子混凝土模拟液中对钢筋腐蚀行为的影响 会议论文  OAI收割
第五届全国腐蚀大会, 2009
周欣; 杨怀玉; 王福会等
收藏  |  浏览/下载:29/0  |  提交时间:2014/01/09