机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 侧墙铬衰减型新结构移相掩模的应用 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 340-342 作者:  谢常青;  刘明;  陈宝钦;  叶甜春   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/05/26 193nm光学光刻  衰减型移相掩模  离轴照明  数值孔径  Prolith