中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
光电技术研究所 [12]
长春光学精密机械与物... [1]
上海光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [14]
内容类型
期刊论文 [13]
学位论文 [1]
发表日期
2016 [10]
2012 [1]
2007 [1]
2006 [1]
2003 [1]
学科主题
筛选
浏览/检索结果:
共14条,第1-10条
帮助
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
发表日期升序
发表日期降序
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
OAI收割
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:24/0
  |  
提交时间:2018/10/29
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
OAI收割
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2018/10/29
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
OAI收割
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:26/0
  |  
提交时间:2018/06/15
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
OAI收割
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:11/0
  |  
提交时间:2018/10/29
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
OAI收割
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:16/0
  |  
提交时间:2018/10/29
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
OAI收割
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:19/0
  |  
提交时间:2018/10/29
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
OAI收割
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:20/0
  |  
提交时间:2018/10/29
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
OAI收割
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:56/0
  |  
提交时间:2018/10/29
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
OAI收割
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2018/10/29
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
OAI收割
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:16/0
  |  
提交时间:2018/12/20
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理