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长春光学精密机械与物... [4]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2008 [1]
2007 [2]
2004 [1]
学科主题
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共4条,第1-4条
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基于有限元法的激光横向刻蚀路径对片阻阻值影响的研究
期刊论文
OAI收割
电子器件, 2008, 期号: 3
王志娟
;
郑玉彤
;
闫晓东
;
汤建华
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/09/25
激光调阻
调阻精度
横向刻蚀长度
横向起刻位置
有限元法
基于有限元法的片式电阻阻值与激光刻蚀路径关系的研究
期刊论文
OAI收割
中央民族大学学报(自然科学版), 2007, 期号: 4
王志娟
;
郑玉彤
;
汤建华
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/09/25
激光调阻
调阻精度
激光刻蚀路径
有限元
激光调阻预置式变速光刻控制
期刊论文
OAI收割
光机电信息, 2007, 期号: 1
孙继凤
;
汤建华
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/09/25
激光调阻
预置式控制
变速控制
调阻速度
调阻精度
激光调阻工艺参数对调阻精度的影响分析
期刊论文
OAI收割
应用激光, 2004, 期号: 03, 页码: 139-141
孙继凤
;
汤建华
;
郭晓光
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2013/03/11
光斑重叠率
激光功率
调Q频率
调阻速度
调阻精度