机构

• 上海应用物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2009 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序 高能聚焦质子束无掩模刻写方法研究初步 期刊论文  OAI收割 核技术, 2009, 期号: 6 刘江峰; 包良满; 李晓林 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/05/23 微结构  质子束刻写  无掩模  光刻胶