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兰州化学物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2020 [1]
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利用PECVD 快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术
期刊论文
OAI收割
真空与低温, 2020, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 402-409
作者:
魏徐兵
;
尚伦霖
;
鲁志斌
;
张广安
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提交时间:2020/11/30
等离子体增强化学气相沉积
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